大连澳森发动机

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近年来研发团队承担的国家级项目包括:
1、国家自主创新与高技术产业化项目:极大规模集成电路清洗化学品的产业化。
2、国家自然科学基金重大研究计划“纳米制造的基础研究”:铜互连层表面的约束刻蚀化学平坦化新方法。
3、国家自然科学基金重大研究计划“纳米制造的基础研究”:纳米磨削诱导新型半导体薄膜表面纳米晶化材料去除机理。
4、中国博士后科学基金(一等):高效铜化学机械抛光表面缺陷与平坦化技术研究。

5、常熟市2012年领军人才项目:半导体和光电子器件超精密研磨、抛光和清洗配套材料。